ООО "ОКБ "БУЛАТ" Лазерное оборудование и технологии

версия для печати

HTS-PRECISE

Лазерная технологическая установка HTS-PRECISE предназначена для высококачественной прецизионной обработки материалов, широко применяемых при производстве в точном приборостроении и микроэлектронике (при изготовлении микросхем, печатных плат, подложек и т.д.). Установка позволяет осуществлять операции по прошивке отверстий (перфорации), резке и скрайбированию кремния, керамики, поликора (толщиной от 0,5 до 2,0мм) и металлической фольги (толщиной от 0,1 до 0,5мм). 

 

 

Установка состоит из излучателя, координатного стола, акустооптического затвора, системы видеонаблюдения, компьютера со специализированным программным обеспечением LaserStudio, системы охлаждения и дополнительной оснастки для крепления изделий. Все эти изделия компактно расположены в корпусе установки, что позволяет минимизировать пространство, занимаемое установкой, уменьшить метраж связующих шлангов и проводов, а также упростить эксплуатацию установки оператором. Использование дополнительной оснастки и модульная конструкция установки, позволяют легко адаптировать ее под более широкий круг задач. Изолированность лазерного излучения внутри оборудования, позволяет полностью обезопасить оператора от вредного воздействия. Установка HTS-PRECISE выполнена в защитном корпусе и соответствует 1 классу лазерной опасности.

Излучатель. В основе установки лежит высококачественный излучатель на базе твердотельного активного элемента (YAG:Nd3+), работающий на длине волны λ=1,063мкм.  Дополнительно предусмотрена возможность установки излучателя с λ=0,53мкм, а также волоконного лазера фирмы IPG Photonics.

Координатный стол. Высокая точность позиционирования координатного стола  достигается благодаря прочному гранитному основанию и применению качественных современных синхронных линейных приводов.

LaserStudio. Удобный интерфейс специализированной программы LaserStudio,  позволяет оператору легко ориентироваться в программе, задавать  параметры лазера и движения координатного стола при выполнении работы (задавать траектории движения луча, корректировать диаметр луча, скорость резки, мощность излучения лазера, привязку контура обработки к детали). 

 

 

Технические характеристики
Комплектация
Области применения

Лазер

Тип лазера

YAG:Nd3+

Без модуляции добротности

YAG:Nd3+

С модуляцией добротности

Волоконный лазер

IPG Photonics

Длина волны изучения

1,064 мкм

1,064 мкм

1,04 - 1,07 мкм

Режим работы

Импульсно - периодический без АО модуляции добротности

Импульсно - периодический с АО модуляцией добротности

Импульсно-периодический

Максимальная импульсная мощность лазерного излучения

до 5 кВт

более 15 кВт

до 12 кВт

Максимальная средняя мощность излучения в многомодовом режиме работы

100 Вт

до 20Вт в одномодовом режиме

10.20.50

Длительность импульсов излучения

0,2 ÷ 3,0 мс

0,2 ÷ 2,0 мс

2-200 нс

Частота повторения импульсов излучения

до 500 Гц

до 500Гц АОМ до 50 кГц

до 50 кГц

 

Оптическая система

Диаметр сфокусированного пучка

50 ÷ 200 мкм

Увеличение оптической системы с объективом F=100 мм

30х

Линейное поле зрения

2 мм

Подавление лазерного излучения в визуальном канале

не менее 107

 

Координатный стол

Максимальный размер зоны лазерной обработки в горизонтальной плоскости  X-Y (автоматизированный двухкоординатный стол*)

до 250х350 мм

Максимальная  скорость перемещения  автоматизированного координатного  стола 

20 мм/с

Точность позиционирования автоматизированного координатного  стола 

± 5 мкм

Рабочий ход автоматизированной Z-координаты

350 мм

Точность позиционирования по оси Z

50 мкм

 

Эксплуатационные параметры

Потребляемая мощность

5 кВт

Габаритные размеры (ДхШхВ)

не более 2200х800х1400 мм

Вес

не более 350 кг

Расход водопроводной воды

до 0,6 м3/час

 Коплектация

 

-          Лазер;

-          Источник питания и система охлаждения лазера;

-          Несущая конструкция установки;

-          Рабочая камера, обеспечивающая 1 класс лазерной опасности установки;

-          Система автоматизированного позиционирования и перемещения X-Y-Z;

-          Внешняя подсветка рабочей зоны;

-          Оптическая система регулировки размера пятна излучения;

-          Система видеонаблюдения с выводом изображения на монитор управляющего компьютера;

-          Система контроля энергии импульсов (средней мощности) излучения лазера;

-          Режущая головка с объективом F=100 мм;

-          Клапан автоматизированной подачи защитного газа в зону обработки;

-          Управляющий компьютер;

-          Специализированное программное обеспечение LaserStudio.

 

 

Технология резки и скрайбирования керамики широко применяется в приборостроении и микроэлектронике для изготовления подложек микросхем, прошивки отверстий.